国家知识产权局信息显示,苏州普微迪纳米科技有限公司取得一项名为“一种磁控溅射镀膜膜厚测试装置”的专利,授权公告号CN224707453U,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜膜厚测试装置,包括支撑底座,支撑底座外侧环形均匀分布设有多个磁控管主体,支撑底座顶部位于多个磁控管主体中间设有膜厚检测设备,膜厚检测设备顶部环形均匀分布设有多个检测孔,膜厚检测设备内底部设有对准检测孔的激光测距仪,膜厚检测设备内中间底部设有伺服电机,伺服电机顶部动力端设有转动圆盘,转动圆盘顶部设有配合检测孔的通孔,转动圆盘顶部位于多个通孔之间设有密封垫。本实用新型与现有技术相比的优点在于:实现实时检测:膜厚检测设备集成于支撑底座中间,可在镀膜过程中通过激光测距仪实时采集膜厚数据,无需镀膜前后单独测试,简化操作流程,提升实验效率;密封性能优良。
天眼查资料显示,苏州普微迪纳米科技有限公司,成立于2023年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州普微迪纳米科技有限公司参与招投标项目4次,专利信息5条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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