国家知识产权局信息显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司取得一项名为“基于磁性耦合传递驱动力的基板保持器”的专利,授权公告号CN224710087U,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种基于磁性耦合传递驱动力的基板保持器,包括:主体,内部界定一容纳腔;至少一个手指,沿竖直方向与主体形成部分重叠区域,并可沿预定移动方向相对于主体平移;至少一个第一磁体,以相对固定的方式与手指连接;至少一个第二磁体,可滑动的设置于容纳腔内;驱动机构,设于容纳腔内,配置为驱动第二磁体沿预定移动方向平移;其中,第二磁体与第一磁体沿竖直方向至少部分对应设置并形成至少部分重叠的磁耦合区域,且第二磁体与第一磁体的相对磁极极性相反。本实用新型通过手指可伸缩的磁性耦合驱动设计,在非工作状态下手指可收缩至主体内,使基板保持器的整体长度缩短,机械手最小回转半径减小,适配更紧凑的晶圆处理设备布局。
天眼查资料显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司,成立于2020年,位于沈阳市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可8个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴