国家知识产权局信息显示，济南白泽启萌智能科技有限公司申请一项名为“一种六自由度磁悬浮晶圆无接触传输与定位系统”的专利，公开号CN122679870A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种六自由度磁悬浮晶圆无接触传输与定位系统，属于半导体制造设备技术领域。本发明通过多组磁悬浮驱动单元使晶圆承载装置悬浮，实现六自由度独立运动与定位。本发明解决了传统晶圆传输结构易污染、定位维度不足的缺陷，无接触运行可靠性高，适用于光刻、刻蚀、薄膜沉积等各类半导体工艺设备。

天眼查资料显示，济南白泽启萌智能科技有限公司，成立于2025年，位于济南市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，济南白泽启萌智能科技有限公司专利信息3条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员