国家知识产权局信息显示,芯曜鑫技术(上海)有限公司申请一项名为“一种修边方法及晶圆”的专利,公开号CN122699608A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本申请提供了一种修边方法及晶圆,其中修边方法包括:提供一晶圆,并对晶圆的边缘进行修边处理,随后通过点胶处理在晶圆的侧壁的修边区域形成保护胶层,保护胶层覆盖修边区域。通过点胶的方式在修边处理后的晶圆的修边区域上形成保护胶层,简化了保护胶层的形成工艺,由于点胶处理无需在高温状态下进行,不会对晶圆本身造成损伤的同时,还提升了晶圆的修边区域的保护效果,提升了形成保护胶层的效率。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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