国家知识产权局信息显示，上海捷热科技有限公司申请一项名为“掩模版等效测试装置和测试系统”的专利，公开号CN122690881A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本公开涉及半导体工艺制造领域，提供掩模版等效测试装置和测试系统，装置包括：陪测掩模版，用于模拟实际掩模版的工艺任务；陪测掩模版内设有容纳腔；若干测量元件，被封装于容纳腔内，并在陪测掩模版的延伸平面阵列布置；每个测量元件，用于在所在位置采集与工艺任务相关的被测参数的测量信号；测量电路组件，被封装于容纳腔内，包括信号处理部件、供电部件及通信部件；供电部件，连接信号处理部件以供电；信号处理部件连接至各测量元件，用于采集测量信号，并处理得到测量结果；通信部件连接至信号处理部件，用于输出测量结果，供据以调节工艺任务的工艺参数。由此，对实际掩模版执行同一工艺任务的实际掩模版参数变化情况实现精准可靠模拟。

天眼查资料显示，上海捷热科技有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本611.1111万人民币。通过天眼查大数据分析，上海捷热科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息27条，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可2个。

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作者：情报员