国家知识产权局信息显示,厦门路维光电有限公司申请一项名为“一种掩膜版自动找中方法及相关产品”的专利,公开号CN122690878A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明涉及光刻设备领域,具体涉及一种掩膜版自动找中方法及相关产品,方法包括获取圆形掩膜版外缘轮廓的像素点集;筛选得到三个特征点;求解得到所述外缘轮廓的圆心坐标;根据偏移量,控制载台移动对位;本发明通过对轮廓点位的多重约束筛选、圆心的解析求解以及偏移量补偿,实现了圆形掩膜版在不改造设备硬件前提下的自动找中对位。
天眼查资料显示,厦门路维光电有限公司,成立于2025年,位于厦门市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,厦门路维光电有限公司拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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