国家知识产权局信息显示,朗姆研究公司申请一项名为“用于提高传导性及均匀性的小容积等离子体约束环”的专利,公开号CN122700346A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,公开了约束环。该约束环包括下方部分,其在下方内部直径和下方外部直径之间延伸。该约束环包括上方部分,其在上方内部直径和上方外部直径之间延伸。该约束环包括中间部分,其在该下方部分和该上方部分之间提供竖直连接。该中间部分的下部紧邻下方外部直径连接至该下方部分且于内部上方部分和外部上方部分之间连接至该上方部分。多个指部由该下方部分的一部分和该中间部分的一部分限定。该多个指部中的相应指部之间的间隔提供贯穿该约束环的导通路径。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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