国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆刷洗方法”的专利，公开号CN122682885A，申请日期为2023年2月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆刷洗装置，包括摆臂、升降驱动机构、弹性支撑机构、转轴、旋转驱动机构和刷体；升降驱动机构、弹性支撑机构和旋转驱动机构均位于摆臂上方，升降驱动机构、弹性支撑机构和转轴在竖直方向由上至下分布，升降驱动机构与旋转驱动机构在水平方向相邻配置；升降驱动机构通过弹性支撑机构连接转轴，转轴的上端可转动地连接于弹性支撑机构，转轴的下端穿过摆臂连接位于摆臂下方的刷体，旋转驱动机构连接转轴并通过转轴驱动刷体旋转；所述升降驱动机构与弹性支撑机构之间设置力传感器，以检测并反馈调节升降驱动机构施加的压力。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目306次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息852条，此外企业还拥有行政许可38个。

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作者：情报员