国家知识产权局信息显示,量伙半导体设备(上海)有限公司申请一项名为“RTP退火炉电流监测功率自补偿方法及系统”的专利,公开号CN122688715A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明公开了RTP退火炉电流监测功率自补偿方法及系统,涉及半导体制造技术领域,包括以下步骤:采集灯管电流在连续时间推进中的变化数据,并记录各时间位置对应的变化速率与变化幅度,根据变化速率的符号变化次数与变化幅度筛选在连续时间区间内发生多次交替变化的变化片段,形成高频抖动变化表达。本发明通过构建电流抖动识别与节奏分析机制,对连续触发行为进行时间重排,并结合节奏延展对功率调节进行分散分配与动态调度,使功率输出在时间维度上保持有序展开,降低调节叠加与能量集中,从而提升加热稳定性与退火过程一致性。

天眼查资料显示,量伙半导体设备(上海)有限公司,成立于2018年,位于上海市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1010万人民币。通过天眼查大数据分析,量伙半导体设备(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息34条,此外企业还拥有行政许可1个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员