国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“基板处理装置及其控制方法”的专利，公开号CN122699577A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明提供一种基板处理装置及控制方法，包括传片区域和处理区域。传片区域设交接站，用于暂存基板；处理区域包括第一子区域及两侧镜像布置的第二子区域。第一子区域内设第一机械手，用于将基板在交接站、液处理单元与第二机械手之间传送；每个第二子区域沿第一方向依次布置液处理单元、第二机械手和干燥单元，液处理单元用于对基板执行液处理工艺，第二机械手将基板送入或移出干燥单元，干燥单元对湿润的基板进行干燥处理。该装置用于对经过液处理的基板进行高效且稳定的干燥处理。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目16次，专利信息77条，此外企业还拥有行政许可63个。

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作者：情报员