国家知识产权局信息显示,广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种衬底片取片测厚装片装置”的专利,授权公告号CN224731297U,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体领域,公开了一种衬底片取片测厚装片装置,包括载物机构、检测机构和搬运机构;载物机构包括载物托盘,载物托盘设置有多个载物冶具;检测机构包括检测台、第一旋转电机、检测组件及位移组件,检测台用于承载待检测的衬底片;位移组件用于驱动检测组件靠近或远离检测台,第一旋转电机用于驱动检测台绕其轴线旋转以调整衬底片侧边壁的朝向;搬运机构包括直线运动组件和真空组件,直线运动组件用于驱动真空组件在检测台与多个载物冶具之间移动,真空组件用于吸取固定冶具内与检测台处的衬底片;本实用新型通过第一旋转电机能实现衬底片朝向的调整,从而能测量衬底片不同位置的厚度,从而提高衬底片厚度测量的准确度。

天眼查资料显示,广东先导微电子科技有限公司,成立于2020年,位于清远市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本120104.63万人民币。通过天眼查大数据分析,广东先导微电子科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目43次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息559条,此外企业还拥有行政许可199个。

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作者:情报员