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观点网讯：9月8日，台积电与阿斯麦宣布启动合作倡议，率先推动行业向高数值孔径极紫外光刻所用的大尺寸光掩模过渡。

该合作倡议属前瞻性布局，并非量产落地或订单承诺。按照时间表，台积电计划从2030年起将阿斯麦的高数值孔径技术应用于先进制程节点的大规模量产，目标是在2031年前建成12英寸掩模中试生产线。

光掩模是极紫外光刻的关键耗材之一。

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