国家知识产权局信息显示,上海时宇半导体设备有限公司取得一项名为“硅片清洗机”的专利,授权公告号CN224734098U,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本实用新型实施例涉及半导体设备技术领域,公开了一种硅片清洗机。其包括:装置本体,内部形成收容空间,收容空间的顶端开口设置有可开合的盖体;清洗腔体呈长方体形状,收容固定在收容空间内。清洗腔体内设置有托盘,用于承载待清洗的硅片;氢氟酸容纳腔呈长方体形状,收容固定在收容空间内,位于清洗腔体的下方;连接管路设置在装置本体内,连接清洗腔体和氢氟酸容纳腔;其中,连接管路在装置本体外表面形成多个连接接口,连接接口包括:氮气接口、抽风排放接口、氢氟酸输入接口以及废液排出接口。

天眼查资料显示,上海时宇半导体设备有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海时宇半导体设备有限公司参与招投标项目4次,专利信息6条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员