国家知识产权局信息显示,重庆中科渝芯电子有限公司申请一项名为“一种抑制半导体通孔刻蚀边缘放电异常的方法”的专利,公开号CN122739200A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明公开一种抑制半导体通孔刻蚀边缘放电异常的方法,在半导体衬底上涂覆光刻胶层;将洗边工艺的洗边宽度被配置为不小于预设阈值,执行洗边工艺,去除所述衬底边缘区域的至少部分光刻胶,或者取消所述洗边工艺。以经过洗边处理的光刻胶层为掩模,进行等离子体刻蚀,形成通孔。本发明从源头解决了通孔层刻蚀过程中的放电异常,切断了缺陷向后续工艺层扩展的链条。

天眼查资料显示,重庆中科渝芯电子有限公司,成立于2010年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本134615万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆中科渝芯电子有限公司参与招投标项目77次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息126条,此外企业还拥有行政许可4个。

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作者:情报员