国家知识产权局信息显示,北京和崎精密科技有限公司申请一项名为“多温区加热冷却方式的立式炉炉体及其温度控制方法”的专利,公开号CN122729665A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明涉及立式炉技术领域,具体涉及多温区加热冷却方式的立式炉炉体及其温度控制方法。该立式炉炉体包括中央控制器及多个轴向排列的温区系统。中央控制器根据各温区反馈的温度信号,独立且协同地调控加热功率、循环气体流量和冷却水流量。与之配套的温度控制方法贯穿升温、保温、降温三阶段。升温阶段通过“削峰填谷”抑制温差扩大;保温阶段采用全局基准调节与基于实时温差的反向补偿调节相结合,实现高精度均匀性控制;降温阶段在加强冷却的同时对低温区减少气流以保持冷却均匀。该方法将三种热管理手段深度协同,解决了单一冷却效率不足、温度均匀性差、冷却能耗高的技术难题,为半导体制造提供了高精度、高效率、智能化的温度控制方案。

天眼查资料显示,北京和崎精密科技有限公司,成立于2016年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5800万人民币。通过天眼查大数据分析,北京和崎精密科技有限公司参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息128条,此外企业还拥有行政许可3个。

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作者:情报员