国家知识产权局信息显示,浙江斯凯沃微电子有限公司申请一项名为“一种粒径可控的硅溶胶磨料及其制备方法和在酸性碳化硅精抛液中的应用”的专利,公开号CN122725283A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明属于化学机械抛光领域,具体涉及一种粒径可控的硅溶胶磨料及其制备方法和在酸性碳化硅精抛液中的应用,以酸性硅溶胶为原料,通过粒径调控剂的吸附络合作用,使硅溶胶磨料形成可控软团聚体,并配合氧化剂、分散剂、pH调节剂制备得到酸性碳化硅抛光液。本发明实现在酸性液相体系中二氧化硅磨料的可控软团聚与粒径控制,解决硅溶胶在酸性环境下易分层沉降、稳定性差的行业痛点。酸性碳化硅精抛液选用非高锰酸钾型绿色氧化剂,彻底规避高锰酸钾带来的晶圆污染、设备清洗困难、环保压力大等问题。
天眼查资料显示,浙江斯凯沃微电子有限公司,成立于2021年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1309.11万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江斯凯沃微电子有限公司参与招投标项目7次,专利信息9条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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