国家知识产权局信息显示,苏州鸿成半导体有限公司申请一项名为“化学浓度在线监控装置及化学溶液状态判定方法”的专利,公开号CN122730709A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请公开了一种化学浓度在线监控装置及化学溶液状态判定方法。所述装置包括混合桶槽或反应供给槽、循环泵、连接管路以及检测池,形成闭环循环回路;检测池进液口位于底部、出液口位于顶部,液体流动方向垂直朝上;检测池内部设有反射镜面,外部同一侧设有光源和光学传感器,形成反射式双程光路;光线检测组件封装于暗箱之内。本发明通过暗箱封装、垂直朝上流向、扩径降速和反射式双程光路的抗干扰结构,实现了在线循环条件下的高信噪比光吸收度检测。本发明还提供了化学溶液混合均质的在线判定方法以及化学反应药液使用寿命的在线监控方法,适用于半导体晶圆、PCB板制程中的铜蚀刻、金蚀刻、铬蚀刻及有颜色变化的蚀刻反应等场景。
天眼查资料显示,苏州鸿成半导体有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本837.8572万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州鸿成半导体有限公司参与招投标项目1次,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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