国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司申请一项名为“一种冰体支撑的晶圆吸盘台、减薄设备及减薄方法”的专利，公开号CN122723428A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本申请公开了一种冰体支撑的晶圆吸盘台、减薄设备及减薄方法，属于晶圆加工设备技术领域。针对正面具有凸点或边缘去除材料导致边缘区域悬空的晶圆在减薄中缺乏稳定硬性支撑且卸载易损伤的问题，该晶圆吸盘台包括盘体、中心吸附板、外围支撑板、阻隔带、流体供给源、冷却介质供给装置及温控组件。中心吸附板吸附非边缘区域，外围支撑板对应边缘区域；冷却介质供给装置向边缘区域与支撑面之间的间隙供给低温冷却介质，使间隙内流体快速冻结形成冰体支撑层，在磨削中对边缘区域提供硬性支撑并抑制振动；温控组件在磨削结束后加热融化冰体支撑层以解除对晶圆的约束。

天眼查资料显示，华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目108次，专利信息155条，此外企业还拥有行政许可9个。

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作者：情报员