国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“对带电粒子的基于能量的滤波与检测的系统和方法”的专利，公开号CN122743567A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，公开了使用带电粒子束装置对样品进行成像的系统和方法。带电粒子束装置可能包括能量分辨设备，该能量分辨设备被配置为对具有多个能级范围的入射信号带电粒子进行滤波。能量分辨设备可能包括：电磁带电粒子偏转器，被配置为基于入射信号带电粒子的能级使入射信号带电粒子的路径偏转；孔径，形成在孔径平面上，该孔径被配置为基于偏转允许入射信号带电粒子的、离开电磁带电粒子偏转器的部分穿过；以及控制透镜，位于电磁带电粒子偏转器的上游并且被配置为使入射信号带电粒子聚焦到孔径平面上。

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作者：情报员