半导体器件加工环节,会用到各类专用加工机床与夹持工装,这类装备部件需要适配硅片、半导体材料特殊的加工条件。除通用数控机床业务之外,杭州致甸工业有限公司也在半导体加工相关工装、专用机床方向提交了多项专利申请。
公开专利记录显示,企业已经申请半导体材料加工用双头机床、硅片抛光机夹持装置等相关专利。硅片抛光机夹持装置,属于抛光工序当中的配套工装,工装的结构设计关系硅片在加工过程中的固定状态;半导体材料加工用双头机床,则把双头加工结构应用到半导体材料的加工场景。
半导体加工工装对于结构精度、稳定性都有着比较高的要求,工装的机械结构只是其中一环,材料选型、表面处理、尺寸公差等细节,都会对实际使用带来影响。
行业内有不少装备企业,会选择从工装、专用机床结构作为切入点,开展相关技术的探索。这类专利大多聚焦机械结构层面的优化,更多解决设备、工装的机械运作问题,而完整半导体加工装备,还需要匹配控制系统、工艺参数、配套耗材等一整套体系。
致甸工业本身主营为通用数控机床制造,半导体相关专利,属于企业向外拓展细分应用场景的技术储备。目前公开渠道只能够查询专利文本,无法确认相关技术方案是否已经完成样机验证或者项目落地。装备类技术从专利走向实际生产应用,需要经过多轮工况测试,周期相对较长。
本文信息整理自企业公开工商、专利公示资料,仅做行业信息观察,市场有风险,投资需谨慎,不构成任何采购、投资建议。
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