国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于晶片搬运机器人的自适应安定窗口”的专利,公开号CN122766292A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本发明涉及使用自动晶片定心(AWC)传感器数据的用于调整衬底处理系统中的安定窗口的方法和系统。该方法和系统在放置和拾取操作期间通过AWC传感器阵列转移晶片,计算晶片位置,并确定位置差。基于所计算的差来调整安定窗口,以最小化机器人移动时间并增加产量。该系统可以包括晶片转移机器人、AWC传感器阵列、处理室和执行调整方法的控制器。随着系统随时间使用,自动调整安定窗口以考虑影响机器人性能的部件磨损。这种方法使得能够基于用户定义的晶片放置设定来主动控制安定窗口精度,从而提供有效且自适应的解决方案。

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作者:情报员