国家知识产权局信息显示,通快霍廷格两合公司申请一项名为“用于等离子体发生器的双等离子体施加器、等离子体发生器、等离子体处理系统以及用于点燃等离子体的方法”的专利,公开号CN122766895A,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本发明涉及用于等离子体发生器(30)的双等离子体施加器(10),用于在点燃时间段(61)内点燃等离子体(22)并且在随后的保持时间段(62)内维持等离子体(22),该施加器(10)包括:a)电极装置,所述电极装置包括至少一个第一电极(12)和至少一个第二电极(16),其中b)通过等离子体发生器(30)的电位产生单元(32,36),第一电极(12)能够被施加有第一电位(14),并且第二电极(16)能够被施加有第二电位(18),c)至少在上述时间段中的一个时间段期间,所述第一电位(14)相对于所述第二电位(18)具有相移和/或幅值差,以及d)所述点燃时间段(61)期间的相移的绝对值比所述保持时间段(62)期间的相移的绝对值大一定相位差,所述相位差>0,e)因此,在点燃时间段(61)期间由电极(12,16)在电极间空间(20)中产生的电场比在保持时间段(62)期间产生的电场更强。

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作者:情报员