国家知识产权局信息显示，圆益IPS股份有限公司申请一项名为“定子模块及包括其的基板传送装置”的专利，公开号CN122767132A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明涉及定子模块及包括其的基板传送装置，更详细地说，涉及一种在真空环境中利用磁悬浮传送基板的定子模块及包括其的基板传送装置。本发明公开一种定子模块，作为在内部形成真空空间(S1)的真空腔室(10)内产生用于磁悬浮的电磁场的定子模块，包括：盖部(100)，一面暴露在所述真空空间(S1)；基座部(200)，被布置到所述盖部(100)另一面侧，边缘与所述盖部(100)结合；线圈板(300)，位于所述盖部(100)与所述基座部(200)之间；电路部(400)，在所述基座部(200)下部，与所述线圈板(300)电性连接。

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作者：情报员