国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“支撑装置、离子注入设备和离子注入设备的控制方法”的专利,公开号CN122762551A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请实施例提供一种支撑装置、离子注入设备和离子注入设备的控制方法,支撑装置用于支撑基板;支撑装置包括多个支撑柱、支撑板和第一驱动模块,多个支撑柱的第一端用于支撑基板;支撑板包括多个通孔,多个通孔分别与多个支撑柱对应设置,支撑板具有用于支撑基板的第一侧和与第一侧相对设置的第二侧;第一驱动模块与支撑板连接,第一驱动模块用于驱动支撑板沿第一方向在第一位置和第二位置之间移动;支撑板处于第一位置时,多个支撑柱分别插入对应的通孔,支撑柱的第一端位于支撑板的第一侧;支撑板处于第二位置时,支撑柱的第一端位于支撑板的第二侧或通孔内。在本申请中,可以改善离子注入过程中,基板与支撑装置接触的位置产生静电放电现象。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目997次,专利信息4629条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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