索尔维申请用于纯化过氧化氢水溶液的方法专利,可应用于微电子部件和半导体制造
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国家知识产权局信息显示,索尔维公司申请一项名为“用于纯化过氧化氢水溶液的方法”的专利,公开号CN122748575A,申请日期为2022年6月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于纯化过氧化氢水溶液的方法,该方法至少包括以下步骤:(a) 用至少一个第一反渗透系统处理过氧化氢水溶液,(b) 用至少一种第一稳定剂处理获得的过氧化氢溶液,(c) 用至少一种选自吸附树脂、离子交换树脂及其组合的纯化装置处理获得的过氧化氢溶液。本发明还涉及由此可获得的过氧化氢水溶液,及其在微电子部件和半导体制造中的用途。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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