国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请一项名为“光阻的颗粒物检测方法”的专利，公开号CN122766311A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请公开一种光阻的颗粒物检测方法，该颗粒物检测方法包括：提供晶圆；在晶圆上涂覆光阻，形成光阻层；使用显影液溶解光阻层，并将光阻层中的颗粒物保留于晶圆上；对保留于晶圆上的颗粒物进行检测，以得到颗粒物检测结果。以检测出尺寸更小的颗粒物，提升颗粒物检测能力。

天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息72条，专利信息209条，此外企业还拥有行政许可225个。

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作者：情报员