国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请一项名为“预测硅片时间依赖性雾的方法、装置及存储介质”的专利,公开号CN122766315A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本公开提供了一种预测硅片时间依赖性雾的方法、装置及存储介质。将装载有待测硅片的前开式晶圆运输盒置于预设的环境舱中;控制环境舱在第一温度下保持第一预设时间,并通过设置于前开式晶圆运输盒内部的浓度传感器检测第一预设时间内前开式晶圆运输盒内部的第一可挥发性有机物浓度;控制环境舱在第二温度下保持第二预设时间,并通过浓度传感器检测第二预设时间内前开式晶圆运输盒内部的第二可挥发性有机物浓度;基于第一可挥发性有机物浓度、第二可挥发性有机物浓度以及预设的映射关系,确定待测硅片的时间依赖性雾评估结果。本公开能够同时兼顾已发生的吸附量与潜在的释放风险,提高TDH风险预测的准确度

天眼查资料显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司,成立于2016年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本403780万人民币。通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目13次,专利信息1664条,此外企业还拥有行政许可24个。

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作者:情报员