国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于反应器系统中的基座环、基座环组件及相关方法”的专利，公开号CN122751176A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，提供了用于将气体注入到反应室中的基座环组件和反应器系统。基座环组件包括基座环，基座环具有基座板、侧构件和气体通道。基座安置在基座孔内并支撑衬底。第一气体出口注入第一气体流，第一气体流垂直于从注入凸缘注入的第二流，第一气体流和第二流都是独立控制的。将气体注入到反应室中的方法包括：将衬底安置在基座环上；将气体供应到注入器管；使气体流过注入器管并进入注入通道；以及将气体从通道注入到衬底上。反应器系统包括反应室、基座环组件和注入器管，从而允许独立地控制气体流。

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作者：情报员