国家知识产权局信息显示,重庆奕能科技有限公司申请一项名为“碳化硅外延片及其制备方法、碳化硅器件及电子设备”的专利,公开号CN122751342A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,一种碳化硅外延片及其制备方法、碳化硅器件及电子设备。该制备方法包括:保持反应腔室温度和压力在一定范围内,通入气浮氩气和氢气,对衬底进行原位蚀刻;保持反应腔室的温度、压力、气浮氩气流量和氢气流量不变,注入硅源、碳源和导电掺杂源,生长缓冲层;保持反应腔室的温度、压力、气浮氩气流量和氢气流量不变,调整硅源、碳源和导电掺杂源的流量,进行外延生长形成外延层;保持反应腔室的温度和压力不变,停止通入生长气体,保持氢气流量不变,并增大气浮氩气流量,进行0.5~1.5min的原位蚀刻。本申请通过在外延生长完成后引入原位刻蚀工艺,能有效降低基平面位错的密度,提高外延片的质量和器件可靠性。
天眼查资料显示,重庆奕能科技有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1613.9372万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆奕能科技有限公司共对外投资了3家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息99条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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