国家知识产权局信息显示,荏远科技(无锡)有限公司取得一项名为“一种晶圆夹持位检测装置”的专利,授权公告号CN224772272U,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种晶圆夹持检测装置,包括载体主盘,其端面中心开设有中心孔;光学摄像头穿设中心孔;透明定位模块嵌入中心孔且设配合槽;连接板连在载体主盘上,两端有延伸部,两个LED灯分别连在延伸部上;外壳覆盖在连接板上。该装置结构紧凑合理,透明定位模块设十字定位光标,能精确定位校准;夹持位中部设原点坐标,提供准确定位依据;载体主盘位于夹持位坐标原点上方,利于监测与布局;设无线通讯模块,可实时传输数据;开设减重孔,降低重量、改善应力分布;设储能部,提供稳定电源。可提高晶圆夹持精度和可靠性,满足半导体制造高精度需求。

天眼查资料显示,荏远科技(无锡)有限公司,成立于2021年,位于无锡市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本600万人民币。通过天眼查大数据分析,荏远科技(无锡)有限公司专利信息1条,此外企业还拥有行政许可6个。

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作者:情报员