国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“干法刻蚀方法和干法刻蚀机”的专利，公开号CN122784337A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请涉及一种干法刻蚀方法和干法刻蚀机，该方法应用于干法刻蚀机，干法刻蚀机包括传输系统、反应系统、抽气系统和气体传输系统，传输系统包括第一机械臂，反应系统包括反应腔，该方法包括控制第一机械臂将第一待刻蚀基板组件传送至反应腔内，关闭反应腔；向反应腔内通入刻蚀气体，以对第一待刻蚀基板组件进行刻蚀处理；在对第一待刻蚀基板组件的刻蚀完成后，向反应腔内持续通入预设气体，并抽取反应腔内的气体；在预设时间段后，开启反应腔，控制第一机械臂从反应腔内取出刻蚀完成的第一待刻蚀基板组件，关闭反应腔，并停止向反应腔内通入预设气体。使用该干法刻蚀方法可以有效的改善干法刻蚀过程中腐蚀性气体对第一机械臂的腐蚀问题。

天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目998次，专利信息4629条，此外企业还拥有行政许可43个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员