国家知识产权局信息显示，杭州积海半导体有限公司取得一项名为“干法刻蚀设备及湿度监控系统”的专利，授权公告号CN224775331U，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种干法刻蚀设备及湿度监控系统，包括：制程腔，用于提供刻蚀产品的腔体；等离子装置，用于向制程腔提供等离子；射频装置，用于向制程腔提供射频源；制冷机，用于向制程设备提供冷却液；真空泵，用于向制程腔提供负压空间，以使得产品在等离子和射频的作用下进行刻蚀；冷却水供给装置，通过进水管路向制程腔、等离子装置、射频装置、制冷机和真空泵提供冷却水，冷却水供给设备通过出水管路接收制程腔、等离子装置、射频装置、制冷机和真空泵冷却处理后的废水；湿度传感器，设置于进水管路的连接处和出水管路的连接处，用于检测空气湿度，以判断是否有冷却水漏液。本实用新型及时检测了漏液的情况，提高了检测漏液的准确度。

天眼查资料显示，杭州积海半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1225000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州积海半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目584次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息154条，此外企业还拥有行政许可21个。

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作者：情报员