国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制备方法”的专利,公开号CN122803696A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本申请公开了一种半导体结构的制备方法,其包括:提供衬底,在所述衬底上形成缓冲层,在所述缓冲层上形成硬掩膜层;形成贯穿所述硬掩膜层和所述缓冲层且延伸至所述衬底中的沟槽,其中,所述沟槽围合成封闭图形;去除所述沟槽围合的区域内的所述硬掩膜层和所述缓冲层,以形成开口,其中,所述沟槽和所述开口露出的所述衬底呈现中间高四周低的形貌;对所述沟槽和所述开口露出的所述衬底进行局部热氧化,以形成氧化层;通过CMP工艺对所述氧化层和所述硬掩膜层的上表面进行平坦化。本申请的技术方案可以有效减少CMP工艺过程中划痕的产生。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目197次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息1147条,此外企业还拥有行政许可57个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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