国家知识产权局信息显示,格科半导体(上海)有限公司申请一项名为“一种用于改善MIM电容电场均匀性的上下极板表面处理方法”的专利,公开号CN122803296A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于改善MIM电容电场均匀性的上下极板表面处理方法,包含:形成下极板;通过氧等离子体氧化处理下极板表面,形成第一厚度的第一缓冲层;在所述第一缓冲层上形成电容介质层;在所述电容介质层上形成第二厚度的材料层;通过氧等离子体氧化处理所述第二厚度的材料层,使所述第二厚度的材料层全部转换为第二缓冲层;在所述第二缓冲层上形成上极板;其中,所述第一缓冲层与所述下极板的成分组成中包括相同的金属元素;所述第二缓冲层与所述上极板的成分组成中包括相同的金属元素。本发明的方法形成的MIM电容的综合性能,如,漏电流、击穿电压、稳定性等显著优化,可以满足高动态范围(HDR)CMOS图像传感器对低噪声、高可靠性的严苛需求。
天眼查资料显示,格科半导体(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本700000万人民币。通过天眼查大数据分析,格科半导体(上海)有限公司参与招投标项目22次,专利信息188条,此外企业还拥有行政许可112个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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