国家知识产权局信息显示,格科半导体(上海)有限公司申请一项名为“一种背照式图像传感器的制造方法”的专利,公开号CN122803407A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明提供了一种背照式图像传感器的制造方法,包含:步骤1,提供一半导体结构,其包含若干硅通孔,用于连通其底部下方的金属填充层,所述硅通孔的底部、侧壁及顶角上表面均依次沉积有第一介质层、第二介质层;步骤2,采用第一刻蚀气体,刻蚀去除所述硅通孔底部的第二介质层,暴露出所述硅通孔底部的第一介质层,且至少部分保留所述硅通孔侧壁及顶角上表面的第二介质层;步骤3,采用第二刻蚀气体,以保留的第二介质层为掩膜,刻蚀去除所述硅通孔底部的第一介质层,暴露出所述金属填充层;步骤4,采用第一刻蚀气体,刻蚀去除所述保留的第二介质层。本发明的方法在实现打开硅通孔底部的同时不损耗孔口介质层,避免了孔口电子穿透风险,且工艺窗口较宽。
天眼查资料显示,格科半导体(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本700000万人民币。通过天眼查大数据分析,格科半导体(上海)有限公司参与招投标项目22次,专利信息188条,此外企业还拥有行政许可112个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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