国家知识产权局信息显示，青岛海存微电子有限公司申请一项名为“晶圆调平装置和晶圆调平方法”的专利，公开号CN122803644A，申请日期为2026年8月。

专利摘要显示，本申请实施例提供一种晶圆调平装置和晶圆调平方法，该晶圆调平装置，包括：第一工作台、投影模块、图像采集模块和控制模块；第一工作台用于承载晶圆，投影模块中包括分辨率靶，分辨率靶的目标区域中设置有位于中心位置和边缘位置的多个相同的图形；投影模块用于将多个相同的图形投影到晶圆上；图像采集模块用于采集晶圆表面的投影图像；控制模块用于根据投影图像确定晶圆的各边缘位置的翘曲程度，在翘曲程度大于或等于预设阈值的情况下，控制第一工作台进行高度调整，直至晶圆的边缘位置的翘曲程度小于预设阈值。本申请能够实现对晶圆边缘位置翘曲的精准识别和原位调平，兼顾光刻步骤，避免造成晶圆损失，提升良率，同时提升了晶圆检测效率。

天眼查资料显示，青岛海存微电子有限公司，成立于2023年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛海存微电子有限公司参与招投标项目46次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息106条，此外企业还拥有行政许可6个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员