国家知识产权局信息显示，四川阿法龙光电科技有限公司申请一项名为“基于虚拟量测的刻蚀终点在线控制系统及方法”的专利，公开号CN122800518A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本申请涉及刻蚀终点在线控制技术领域，公开了基于虚拟量测的刻蚀终点在线控制系统及方法，方法包括：获取刻蚀过程中实时采集的多模态传感器信号，对多模态传感器信号进行加权融合，得到融合特征；将融合特征输入预设的深度预测网络，输出晶圆表面多个虚拟区域的第一刻蚀深度；基于各虚拟区域的第一刻蚀深度和晶圆表面区域密度，分析刻蚀进度最慢区域与最快区域的刻蚀深度差值，并生成空间补偿触发信号；响应于空间补偿触发信号，生成作用于最慢区域的工艺参数补偿指令，并在所有虚拟区域的刻蚀深度满足预设的终点条件时，发出终点控制指令；本申请能够在空间不均匀性扩大前施加干预，有效缩小各区域到达终点的进度差异，减少过刻蚀与欠刻蚀缺陷。

天眼查资料显示，四川阿法龙光电科技有限公司，成立于2025年，位于德阳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析，四川阿法龙光电科技有限公司共对外投资了1家企业，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员