国家知识产权局信息显示,中南大学;长沙长芯微科技有限责任公司申请一项名为“一种基于静电梳驱动的硅基MEMS光路开合切换方法”的专利,公开号CN122794654A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明提供了一种基于静电梳驱动的硅基MEMS光路开合切换方法,基于硅基MEMS光路开合控制装置实现,该装置的固定波导单元与可动波导单元均为多模波导交叉结构,二者在初始状态下彼此分离且相对间隔设置,对接端面之间形成空气缝隙;各对接端面上分别加工有互补啮合轮廓;传动杆沿可动波导单元的驱动方向延伸布置,其一端与可动波导单元固定连接;弹性支撑组件对称布置于传动杆的两侧,将可动波导单元、传动杆及可动梳齿组弹性悬挂于固定锚点之间;静电梳驱动组件包括相对布置且呈交错插指排布的固定梳齿组和可动梳齿组,可动梳齿组与传动杆固定连接,固定梳齿组通过导电臂与金属电极接通。本发明自带对位限位功能,抑制了可动波导的运动偏移对波导对接精度的干扰。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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