国家知识产权局信息显示,杰平方半导体(上海)有限公司申请一项名为“WAT测试结构及其制造方法、接触孔的套刻偏移量测试方法”的专利,公开号CN122803679A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明公开了一种WAT测试结构及其制造方法、接触孔的套刻偏移量测试方法,属于半导体测试技术领域,该WAT测试结构,包括薄膜堆栈结构;多晶硅图形,形成在所述薄膜堆栈结构上,所述多晶硅图形为包括若干多晶硅条的叉指图形,所述多晶硅条之间通过共接区互连;多个接触孔,至少部分的接触孔交叠在对应的所述多晶硅条上;互连金属,设置在所述接触孔的顶部,用于向所述接触孔施加电压进行测试。通过将多晶硅图形设置成叉指图形,再形成与多晶硅条存在交叠的接触孔,通过互连金属引出,从而向接触孔施加电压测试电流变化来表征套刻偏移量。
天眼查资料显示,杰平方半导体(上海)有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本8430.1797万人民币。通过天眼查大数据分析,杰平方半导体(上海)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息93条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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