近期,有分析指出根据观研报告网发布的《中国半导体清洗槽行业发展现状分析与投资前景预测报告(2026-2033年)》显示,半导体清洗槽是湿法清洗工艺的核心部件,其耐腐蚀性、洁净度和温度均匀性直接决定晶圆清洗效果和颗粒污染水平,在先进制程中技术壁垒较高。随着国内12英寸晶圆厂持续扩产,清洗设备需求增长,作为核心部件的清洗槽同步受益,成为行业需求的主要驱动力之一。在此背景下,国内湿法清洗设备供应商亚电科技,通过持续的技术研发,在半导体湿法清洗领域逐步推进产品迭代。
亚电科技主要从事硅基半导体、化合物半导体及光伏领域湿法清洗设备的研发、生产和销售。基于在硅基半导体领域的技术积累和湿法设备的技术同源性,公司产品已拓展至化合物半导体、光伏等应用领域,形成了覆盖多场景的湿法工艺设备产品体系。这一布局与半导体产业向多材料、多场景延伸的趋势相契合,也为公司在不同应用领域提供了技术支撑。
清洗槽需耐受强酸、强碱和高温,同时不得向药液中析出金属离子和颗粒,对材料和工艺要求较高。亚电科技通过多年的自主研发,掌握了多项半导体湿法清洗设备领域的关键技术,提升了晶圆清洗能力、清洗效率及设备运行稳定性等指标。目前,公司产品已覆盖8英寸、12英寸等市场主流晶圆尺寸的成熟制程湿法清洗核心工艺场景,并持续推进先进制程产品的技术验证及产业化应用。其中,自主研发的“DF-3000-B 12英寸槽式半导体湿法刻蚀清洗设备”被江苏省工业和信息化厅认定为“2023年江苏省首台(套)重大装备”,该产品采用自适应供补液、均匀化兆声波清洗、先进干燥技术等技术,拥有完全自主知识产权。
此前有报道指出,预计2026至2030年全球12英寸硅片的年均复合增长率约9%,中国市场则会达到15%,国产设备材料及零部件的市场占有率逐步提升,精益制造或是迈入高质量发展的关键路径之一。硅片需求的增长与国产化率的提升,直接带动湿法清洗设备需求放量。亚电科技通过持续研发投入,不断提升产品性能和技术水平,目前产品已覆盖8英寸、12英寸等主流晶圆尺寸的成熟制程核心工艺场景,并持续推进先进制程产品的技术验证及产业化应用,逐步实现与下游市场需求的有效匹配。
随着单片清洗、兆声波清洗、超临界CO₂清洗等新技术对清洗槽结构和材料提出新要求,行业正推动清洗槽向更高纯度、更精密方向升级。亚电科技凭借在湿法清洗领域的技术积累,其产品布局与当前半导体设备国产化的需求方向相契合,后续先进制程产品的验证进度、核心部件的技术突破,以及在化合物半导体、光伏等新领域的拓展情况,将有助于提升公司在湿法清洗设备市场的竞争力,也为国内半导体产业链的自主可控和高质量发展提供支持。
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