据科创板日报，在中科飞测今日举行的半年度业绩会上，该公司董事长、总经理陈鲁表示，公司面向先进制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备产线验证进展顺利，预计年内有希望看到更多积极的验证结果。

中科飞测此前披露，公司拟于9月24日召开2026年半年度业绩说明会。

晶圆平整度量测设备在国内头部HBM客户产线验证进展顺利，预计年内有希望看到更多成果；电子束关键尺寸量测设备已出货到头部客户产线验证。结合目前在手订单结构，全年前道制程收入占比有望回归正常区间，先进制程收入贡献将进一步提高，全年及未来毛利率有望保持较高水平。

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作者：知叙