国家知识产权局信息显示,上海朕芯微电子科技有限公司申请一项名为“晶圆加工方法及晶圆加工系统”的专利,公开号CN122825723A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本公开的一种晶圆加工方法及晶圆加工系统,包括以下加工步骤:S10:将第一平整件的第一表面贴附于晶圆的正面;其中,第一平整件的第一表面提供保持晶圆平整的附着力,且所述第一平整件具有与第一表面相背的第二表面;S20:对晶圆背面腐蚀处理;S30:将第二平整件贴附于第一平整件的第二表面;其中,第二平整件提供保持晶圆平整的吸附力;S40:在晶圆腐蚀处理后的背面形成金属层;S50:将第三平整件贴附于晶圆背面的金属层的外表面;第三平整件提供保持晶圆平整的附着力;S60:移除第二平整件和第一平整件,得到加工后晶圆。本公开的晶圆在加工过程中能够保持平整,有利于保证晶圆加工的顺利进行和加工后晶圆厚度的均匀性。
天眼查资料显示,上海朕芯微电子科技有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海朕芯微电子科技有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息52条,此外企业还拥有行政许可16个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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