万腾荣申请低氧含量Ag合金溅射靶材专利,可制备低氧含量溅射靶材
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国家知识产权局信息显示,万腾荣先进材料德国有限责任公司申请一项名为“低氧含量的Ag合金溅射靶材”的专利,公开号CN122826346A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本发明涉及一种低氧含量的溅射靶材。溅射靶材基于银(Ag)并包含少量合金元素,合金元素选自Mg、Al、Si、Ca、Sr、Sc、Y、稀土金属、Ti和Ge及其组合。本发明还涉及一种使用所述溅射靶材制备的层,以及所述溅射靶材的制备方法。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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