国家知识产权局信息显示,上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“晶圆传送机械手的末端结构”的专利,公开号CN122825782A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆传送机械手的末端结构,采用电磁与永磁配合的夹持方案,至少三个夹持模块布置在晶圆承载面上且形成夹持晶圆的夹持空间,可从多点均匀对晶圆施加作用力,保证晶圆夹持受力对称,避免单点受力不均引发晶圆形变、偏移。蓝牙控制模块集成于机械手主体内部,能够无线接收蓝牙控制信号,并通过改变固定电磁组件的电流方向,调整固定电磁组件与活动永磁组件之间磁场作用力方向,进而调节二者相对间距,完成晶圆夹持锁紧与松脱释放;相较于传统机械夹爪,无需复杂气动管路、驱动线缆布置,简化布线,无线蓝牙通信省去有线接线束缚,便于机械手高速往复运动。
天眼查资料显示,上海邦芯半导体科技有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析,上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目30次,财产线索方面有商标信息20条,专利信息325条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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