联华电子申请接合半导体结构及其制造方法专利,实现阶梯状轮廓以优化电连接性能
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国家知识产权局信息显示,联华电子股份有限公司申请一项名为“接合半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN122825872A,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本发明公开一种接合半导体结构及其制造方法,其中接合半导体结构包括第一晶圆,其包括第一穿硅通孔,以及第二晶圆接合在该第一晶圆上。第二穿硅通孔穿过第二晶圆,并且包括与第一穿硅通孔直接接触并电连接的下部,以及设置在下部上的上部。下部的侧壁,上部的底面以及上部的侧壁形成阶梯状轮廓。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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