国家知识产权局信息显示,科磊股份有限公司申请一项名为“用于具有高空间分辨率的X射线束的特性化的方法及系统”的专利,公开号CN122814643A,申请日期为2018年5月。

专利摘要显示,本申请涉及用于具有高空间分辨率的X射线束的特性化的方法及系统。本文中描述用于在透射小角度X射线散射测量T‑SAXS计量系统中定位样品及特性化入射到所述样品上的x射线束的方法及系统。样品定位系统垂直地定位晶片且使所述晶片在六个自由度中相对于所述x射线照明束主动地定位而不衰减透射辐射。在一些实施例中,在测量透射通量的经检测强度时跨所述照明束扫描圆柱形遮挡元件以精确定位射束中心。在一些其它实施例中,采用周期性校准目标以精确定位所述射束中心。

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作者:情报员