国家知识产权局信息显示，上海原子启智半导体设备有限公司取得一项名为“一种等离子体处理设备”的专利，授权公告号CN224803887U，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种等离子体处理设备，包括工艺腔和射频腔，工艺腔内设有基座以承载基片，射频腔内设有射频组件，射频组件电连接有射频源，射频源通过射频组件向工艺腔内馈入射频能量，以在工艺腔内激发等离子体以处理基片；其中，射频腔内设有阀组件，阀组件与射频组件之间设置有电磁屏蔽部件，电磁屏蔽部件接地设置，以屏蔽所述射频组件对所述阀组件的电磁辐射。如此设置，既缩短了阀组件与工艺腔之间的气路长度，提升了供气切换速率，又有效隔离了射频电磁场对阀组件的电磁干扰，显著降低了阀组件的故障率，提高了设备的整体可靠性和工艺稳定性。

天眼查资料显示，上海原子启智半导体设备有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1493.1645万人民币。通过天眼查大数据分析，上海原子启智半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息4条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可7个。

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作者：情报员