国家知识产权局信息显示,深圳市烨博微科技有限公司申请一项名为“一种玻璃基压力传感器及其制备方法”的专利,公开号CN122814037A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种玻璃基压力传感器及其制备方法,涉及传感器技术领域。该压力传感器包括两玻璃衬底,一玻璃衬底上形成有凹槽,两玻璃衬底通过熔融键合密封,形成密封腔,晶圆正面上设置有绝缘层,绝缘层上设置有多晶硅压阻条,多晶硅压阻条为经离子注入掺杂并快速热退火激活的掺杂多晶硅。介质层覆盖多晶硅压阻条和绝缘层,金属布线层通过介质层中的接触孔与多晶硅压阻条电连接,保护层覆盖金属布线层和介质层。该传感器采用全玻璃熔融键合形成密封腔,结构耐腐蚀、耐高温,多晶硅压阻条与玻璃衬底之间通过绝缘层实现电气隔离,无需PN结隔离,高温压阻特性稳定,适用于高温、高湿或强腐蚀性环境中的压力检测。

天眼查资料显示,深圳市烨博微科技有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市烨博微科技有限公司财产线索方面有商标信息5条,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可4个。

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作者:情报员