国家知识产权局信息显示，江苏路芯半导体技术有限公司申请一项名为“一种基于人工智能的掩模三维效应补偿方法”的专利，公开号CN122815756A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于人工智能的掩模三维效应补偿方法，属于半导体光刻技术领域。包括构建训练样本集，样本包含目标布局图案、通过分块严格电磁场仿真与逆优化获得的理想补偿掩模图案，以及基于几何特征解析计算的掩模三维效应敏感特征图；构建条件去噪扩散概率模型，其中去噪网络集成群等变卷积模块、物理敏感交叉注意力模块和多层级时间嵌入模块；以噪声预测损失结合物理感知损失的联合损失函数训练网络；对新目标图案，计算敏感特征图并通过确定性逆向采样生成补偿掩模。本发明融合了严格物理仿真与深度生成模型，在降低计算开销的同时为EUV掩模三维效应补偿提供了具有物理引导的图案生成途径。

天眼查资料显示，江苏路芯半导体技术有限公司，成立于2023年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54500万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏路芯半导体技术有限公司参与招投标项目42次，专利信息13条，此外企业还拥有行政许可19个。

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作者：情报员