国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司取得一项名为“槽式清洗机台”的专利,授权公告号CN224805386U,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种槽式清洗机台,涉及半导体制备技术领域,该槽式清洗机台提供了晶圆清洗槽、夹持装置以及热压产生装置。其中夹持装置的抓夹部夹持晶圆,并通过相互连接的承载部移动晶圆到晶圆清洗槽内进行晶圆清洗,热压产生装置设置在承载部的面向晶圆清洗槽的一侧,当晶圆清洗液中的清洗液雾气上升时,热压产生装置产生热压,使得承载部面向晶圆清洗槽的一侧气压增大,抑制清洗液雾气上升,避免了清洗液在承载部上凝结,进一步的避免了夹持晶圆时,清洗液对晶圆的损坏,保证了晶圆的性能。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本223464.5597万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目657次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1846条,此外企业还拥有行政许可35个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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